簡(jiǎn)要描述：

MetOne標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置
氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正程序
校正所需設(shè)備：
100 級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)
一臺(tái)用于作對(duì)比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，如 Metone3400
各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子，如 0.3um 0.5um 1um 等等
標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器，如 Model 255
可產(chǎn)生脫離水（ DI 水）的純水系統(tǒng)或類似裝置
其它普通電器，如 220

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詳細(xì)介紹

MetOne 255標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置

氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正程序

校正所需設(shè)備：

100 級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)

一臺(tái)用于作對(duì)比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，如 Metone3400

各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子，如 0.3um  0.5um  1um 等等

標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器，如 Model 255

可產(chǎn)生脫離水（ DI 水）的純水系統(tǒng)或類似裝置

  其它普通電器，如 220V 電源插座，萬(wàn)用表等等

校正的基本原理

標(biāo)準(zhǔn)粒子（如 0.301um ）通過 255 粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過 0.2um 的過濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時(shí)，將兩臺(tái)相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對(duì)取樣管進(jìn)行抽樣測(cè)試，并比校 0.3um 粒徑的測(cè)試值。如果其平均值在 20% 以內(nèi)，認(rèn)為合格。如果不同型號(hào)的粒子計(jì)數(shù)器，一定要弄清楚其流速，取樣時(shí)間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測(cè)試結(jié)果。

三 . 校正的基本步驟：

現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見的 Metone227B 作校正

首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測(cè)試原理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。

首先，請(qǐng)將潔凈臺(tái)開機(jī)，工作半小時(shí)，其間內(nèi)也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預(yù)熱半小時(shí)。

  準(zhǔn)備好 255 的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

將配好的標(biāo)準(zhǔn)液（如 0.301um ）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

  設(shè)置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數(shù)

取樣時(shí)間都設(shè)置為 00 ： 01 ： 00

取樣次數(shù)都設(shè)置 03

取樣模式都設(shè)置為 Auto

間隔時(shí)間都設(shè)置為 00 ： 00 ： 05

讀數(shù)模式都設(shè)置為 Cumulative

注：以上設(shè)置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測(cè)試結(jié)果會(huì)是 Metone227B 的 10 倍。

此時(shí)，打開 255 電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計(jì)約 60SCFH 時(shí)后，保持其工作狀態(tài)。

此時(shí)，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時(shí)工作，看其三次的平均結(jié)果，若在 20% 以內(nèi)，視為合格。

拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子，重復(fù)該測(cè)試。
  以上校正只是對(duì)比校正，尚可用萬(wàn)用表對(duì)其基本參數(shù)測(cè)量，用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來(lái)輔助調(diào)校。

價(jià)格說(shuō)明

一般情況下：: 劃線價(jià)格：劃線的價(jià)格可能是商品的銷售指導(dǎo)價(jià)或該商品的曾經(jīng)展示過的銷售價(jià)等，并非原價(jià)，僅供參考。
未劃線價(jià)格：未劃線的價(jià)格是商品在阿里巴巴中國(guó)站上的銷售標(biāo)價(jià)，具體的成交價(jià)格根據(jù)商品參加活動(dòng)，或因用戶使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)。
活動(dòng)預(yù)熱狀態(tài)下：: 劃線價(jià)格：劃線的價(jià)格是商品在目前活動(dòng)預(yù)熱狀態(tài)下的銷售標(biāo)價(jià)，并非原價(jià)，具體的成交價(jià)可能因用戶使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)。
未劃線價(jià)格：未劃線的價(jià)格可能是商品即將參加活動(dòng)的活動(dòng)價(jià)，僅供參考，具體活動(dòng)時(shí)的成交價(jià)可能因用戶使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以活動(dòng)是訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)。
伙拼折上折活動(dòng)狀態(tài)下：: 該商品（部分規(guī)格除外）在伙拼折上折活動(dòng)期間內(nèi)，買家可享受伙拼折上折活動(dòng)優(yōu)惠價(jià)格（該價(jià)格較同時(shí)期伙拼日?；顒?dòng)價(jià)格更優(yōu)惠）。

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請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

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